文献
J-GLOBAL ID:201802280388044034
整理番号:18A0253245
Challanges for scanning electron microscopy and inspection on the nanometer scale for non-IC application-and how to tackle them using computational techniques
著者 (7件):
BOLTEN Jens
(AMO GmbH, Aachen, DEU)
,
ARAT Kerim T.
(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
,
UENAL Nezih
(GenISys GmbH, Munich, DEU)
,
PORSCHATIS Caroline
(AMO GmbH, Aachen, DEU)
,
WAHLBRINK Thorsten
(AMO GmbH, Aachen, DEU)
,
LEMME Max C.
(AMO GmbH, Aachen, DEU)
,
LEMME Max C.
(RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10446
ページ:
104460G.1-104460G.6
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)