文献
J-GLOBAL ID:201802281292953910
整理番号:18A1770521
低温でシリコーン油とオゾンを用いて成長させた酸化けい素膜の研究【JST・京大機械翻訳】
Investigation on Silicon Oxide Films Grown by Using Silicone Oil and Ozone at Low-Temperature
著者 (3件):
Ferdous Sanjida
(Dept. of Applied Physics & Electronic Engineering, University of Rajshahi, Bangladesh)
,
Md. Ismail Abu Bakar
(Dept. of Applied Physics & Electronic Engineering, University of Rajshahi, Bangladesh)
,
Horita Susumu
(Japan Advanced Institute of Science and Technology, University in Nomi, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IC4ME2
ページ:
1-4
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)