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文献
J-GLOBAL ID：201802281710188642
整理番号：18A0524590
13.3kPaでの大気圧プラズマ蒸着により堆積した微結晶シリコン薄膜太陽電池に及ぼすヘリウム濃度の影響【Powered by NICT】
Effects of helium concentration on microcrystalline silicon thin film solar cells deposited by atmospheric-pressure plasma deposition at 13.3 kPa
Kwon Jung-Dae
(Surface Technology Division, Korea Institute of Materials Science, Changwon, Gyeongnam 641-831, Republic of Korea)
,
Yang Johwa
(Surface Technology Division, Korea Institute of Materials Science, Changwon, Gyeongnam 641-831, Republic of Korea)
,
Yang Johwa
(School of Energy Systems Engineering, Chung-Ang University, Seoul 06974, Republic of Korea)
,
Park Jin-Seong
(Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University, Seoul 133-719, Republic of Korea)
,
Kang Dong-Won
(School of Energy Systems Engineering, Chung-Ang University, Seoul 06974, Republic of Korea)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 650 ページ： 32-36 発行年： 2018年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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