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文献
J-GLOBAL ID：201802283240697641
整理番号：18A0944283
MEMSにおける機械的モード結合によるエネルギー損失に及ぼす製造欠陥の影響【JST・京大機械翻訳】
Effect of fabrication imperfections on energy loss through mechanical mode coupling in MEMS
Vatanparvar Daryosh
(MicroSystems Laboratory, Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA)
,
Shkel Andrei M.
(MicroSystems Laboratory, Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： INERTIAL ページ： 1-2 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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