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文献
J-GLOBAL ID：201802284081480023
整理番号：18A1183469
横方向に振動する伸長モードを持つシリコン5MHz p-nダイオードアクチュエータの評価
Evaluation of a silicon 5 MHz p-n diode actuator with a laterally vibrating extensional mode
MIYAZAKI Fumito
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
BABA Kazuki
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
FURUTSUKA Takashi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 5 ページ： 057201.1-057201.11 発行年： 2018年05月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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