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文献
J-GLOBAL ID：201802284102729189
整理番号：18A0271851
多孔質脆性超低k誘電体薄膜の機械的性質を測定するための新しい三層ナノインデンテーション法【Powered by NICT】
A novel tri-layer nanoindentation method to measure the mechanical properties of a porous brittle ultra-low-k dielectric thin film
Du Yingjie
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX 75080, USA)
,
Xu Tingge
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX 75080, USA)
,
Shaw Thomas M.
(IBM TJ Watson Research Center, 1101 Kitchawan Rd, Yorktown Heights, NY 10598, USA)
,
Liu Xiao Hu
(IBM TJ Watson Research Center, 1101 Kitchawan Rd, Yorktown Heights, NY 10598, USA)
,
Bonilla Griselda
(IBM TJ Watson Research Center, 1101 Kitchawan Rd, Yorktown Heights, NY 10598, USA)
,
Li Han
(IBM TJ Watson Research Center, 1101 Kitchawan Rd, Yorktown Heights, NY 10598, USA)
,
Li Han
(Logic Technology Development, Intel Corporation, Hillsboro, OR 97124, USA)
,
Lu Hongbing
(Department of Mechanical Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX 75080, USA)
資料名：
Extreme Mechanics Letters
(Extreme Mechanics Letters)
巻： 13 ページ： 100-107 発行年： 2017年
JST資料番号： W3055A ISSN： 2352-4316 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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