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文献
J-GLOBAL ID：201802284356090111
整理番号：18A0910745
高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおける低コヒーレンス干渉法による基板温度の非接触測定
Noncontact measurement of substrate temperature by optical low-coherence interferometry in high-power pulsed magnetron sputtering
HATTORI Katsuhiro
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
OHTA Takayuki
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
ODA Akinori
(Chiba Inst. of Technol., Chiba, JPN)
,
KOUSAKA Hiroyuki
(Gifu Univ., Gifu, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 1S ページ： 01AC03.1-01AC03.5 発行年： 2018年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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