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文献
J-GLOBAL ID：201802285421070062
整理番号：18A1028707
超高次走査非線形誘電顕微鏡を用いたリン注入エミッタとリン拡散エミッタにおけるキャリア分布の二次元解析【JST・京大機械翻訳】
Two-dimensional analysis of carrier distribution in phosphorus-implanted emitter and phosphorus-diffused emitter using super-higher-order scanning nonlinear dielectric microscopy
Hirose Kotaro
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
,
Tanahashi Katsuto
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima, 963-0298, Japan)
,
Takato Hidetaka
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima, 963-0298, Japan)
,
Chinone Norimichi
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
,
Cho Yasuo
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： PVSC ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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