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文献
J-GLOBAL ID：201802285583722169
整理番号：18A2034594
極端紫外線フェムト秒パルスによる非晶質シリカガラスの深穴穴あけ【JST・京大機械翻訳】
Deep-hole drilling of amorphous silica glass by extreme ultraviolet femtosecond pulses
Shibuya Tatsunori
(Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan)
,
Takahashi Takashi
(Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Sakaue Kazuyuki
(Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Dinh Thanh-Hung
(Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan)
,
Hara Hiroyuki
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering and Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University, 7-1-2 Yoto, Utsunomiya, Tochigi 321-8585, Japan)
,
Higashiguchi Takeshi
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering and Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University, 7-1-2 Yoto, Utsunomiya, Tochigi 321-8585, Japan)
,
Ishino Masahiko
(Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan)
,
Koshiba Yuya
(Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Nishikino Masaharu
(Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan)
,
Ogawa Hiroshi
(Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan)
,
Tanaka Masahito
(Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan)
,
Washio Masakazu
(Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
,
Kobayashi Yohei
(AIST-UTokyo Advanced Operando-Measurement Technology Open Innovation Laboratory (OPERANDO-OIL), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa, Chiba 277-8589, Japan)
,
Kuroda Ryunosuke
(Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 113 号： 17 ページ： 171902-171902-4 発行年： 2018年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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