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文献
J-GLOBAL ID：201802286081803780
整理番号：18A0194490
大ストロークと非干渉化特性を有するナノ位置決めステージの開発と反復補償PID制御【Powered by NICT】
Development and Repetitive-Compensated PID Control of a Nanopositioning Stage With Large-Stroke and Decoupling Property
Tang Hui
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Gao Jian
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Chen Xin
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Yu Kai-Ming
(Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hung Hom, Hong Kong)
,
To Suet
(Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hung Hom, Hong Kong)
,
He Yunbo
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Chen Xun
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Zeng Zhaohe
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
He Sifeng
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Chen Chuangbin
(Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology and Equipment of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
,
Li Yangmin
(Department of Industrial and Systems Engineering, The Hong Kong Polytechnic University, Hung Hom, Hong Kong)
資料名：
IEEE Transactions on Industrial Electronics
(IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 65 号： 5 ページ： 3995-4005 発行年： 2018年
JST資料番号： C0234A ISSN： 0278-0046 CODEN： ITIED6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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