文献
J-GLOBAL ID:201802286625340884
整理番号:18A0118715
DCスパッタ法を用いて蒸着されたITO薄膜の微細構造と電気光学特性に及ぼすスパッタリングパワーの役割
Role of sputtering power on the microstructural and electro-optical properties of ITO thin films deposited using DC sputtering technique
著者 (3件):
Kosarian A.
(Department of Electronic and Electrical Engineering, Shahid Chamran University of Ahvaz, Ahvaz, Iran)
,
Shakiba M.
(Department of Electronic and Electrical Engineering, Shahid Chamran University of Ahvaz, Ahvaz, Iran)
,
Farshidi E.
(Department of Electronic and Electrical Engineering, Shahid Chamran University of Ahvaz, Ahvaz, Iran)
資料名:
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
(IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻:
13
号:
1
ページ:
27-31
発行年:
2018年01月
JST資料番号:
W1854A
ISSN:
1931-4973
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)