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文献
J-GLOBAL ID：201802286743484274
整理番号：18A0631519
OVPE法を用いたGaN育成におけるNH3/H2比の多結晶形成への影響
津野慎太郎
(大阪大 工)
,
郡司祥和
(大阪大 工)
,
山口陽平
(大阪大 工)
,
石橋桂樹
(大阪大 工)
,
北本啓
(大阪大 工)
,
今西正幸
(大阪大 工)
,
今出完
(大阪大 工)
,
吉村政志
(大阪大 工)
,
伊勢村雅士
(伊藤忠プラスチックス)
,
隅智亮
(パナソニック)
,
滝野淳一
(大阪大 工)
,
滝野淳一
(パナソニック)
,
岡山芳央
(大阪大 工)
,
岡山芳央
(パナソニック)
,
信岡政樹
(パナソニック)
,
森勇介
(大阪大 工)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th ページ： ROMBUNNO.18a-E202-1 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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