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文献
J-GLOBAL ID：201802287030653162
整理番号：18A0283719
キャリア型の決定のための走査型容量顕微鏡におけるチップ枯渇誘導故障の研究【Powered by NICT】
Investigation of tip-depletion-induced fail in scanning capacitance microscopy for the determination of carrier type
Wang Lin
(Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Lyon University, CNRS UMR 5270, INSA Lyon, 7 avenue Jean Capelle 69621 Villeurbanne, France)
,
Gautier Brice
(Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Lyon University, CNRS UMR 5270, INSA Lyon, 7 avenue Jean Capelle 69621 Villeurbanne, France)
,
Sabac Andrei
(Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Lyon University, CNRS UMR 5270, INSA Lyon, 7 avenue Jean Capelle 69621 Villeurbanne, France)
,
Bremond Georges
(Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Lyon University, CNRS UMR 5270, INSA Lyon, 7 avenue Jean Capelle 69621 Villeurbanne, France)
資料名：
Ultramicroscopy
(Ultramicroscopy)
巻： 174 ページ： 46-49 発行年： 2017年
JST資料番号： W0972A ISSN： 0304-3991 CODEN： ULTRD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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