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文献
J-GLOBAL ID：201802287044259625
整理番号：18A0502700
III族窒化物エピタキシャル成長のためのパターン化サファイア基板
Patterned Sapphire Substrates for III-Nitride Epitaxial Growth
OMIYA Natsuko
(Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
AIDA Hideo
(Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
KIMURA Yutaka
(Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
KAWAMATA Yuki
(Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
KIM Seong-Woo
(Namiki Precision Jewel Co. Ltd., Tokyo, JPN)
,
UNEDA Michio
(Kanazawa Inst. Technol., Nonoichi, JPN)
資料名：
International Journal of Automation Technology
(International Journal of Automation Technology)
巻： 12 号： 2 ページ： 179-186 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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