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文献
J-GLOBAL ID：201802287239615157
整理番号：18A1185274
Co注入法によって製作したGe n型接合の注入エネルギー依存構造特性
Implantation Energy Dependent Structural Characteristic of Ge n-Type Junction Prepared by Co-Implantation Technique
HASSAN Zul Hasyidi
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
AZIZ Umar Abdul
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
RASHID Nur Nadhirah Mohamad
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
AID Siti Rahmah
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
CENTENO Anthony
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
SUWA Akira
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
IKENOUE Hiroshi
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
XIE Fang
(Imperial Coll. London, GBR)
資料名：
プラズマ応用と複合機能材料
(Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 26 ページ： 66 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： L6242A ISSN： 1340-9557 CODEN： POFZFU 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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