文献
J-GLOBAL ID:201802287239615157
整理番号:18A1185274
Co注入法によって製作したGe n型接合の注入エネルギー依存構造特性
Implantation Energy Dependent Structural Characteristic of Ge n-Type Junction Prepared by Co-Implantation Technique
著者 (8件):
HASSAN Zul Hasyidi
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
AZIZ Umar Abdul
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
RASHID Nur Nadhirah Mohamad
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
AID Siti Rahmah
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
CENTENO Anthony
(Universiti Teknologi Malaysia)
,
SUWA Akira
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
IKENOUE Hiroshi
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
XIE Fang
(Imperial Coll. London, GBR)
資料名:
プラズマ応用と複合機能材料
(Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻:
26
ページ:
66
発行年:
2017年03月01日
JST資料番号:
L6242A
ISSN:
1340-9557
CODEN:
POFZFU
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)