文献
J-GLOBAL ID:201802289384994043
整理番号:18A0849605
標準的なアライナを用いたVierical側壁のパターン形成【JST・京大機械翻訳】
Patterning viertical sidewall using standard aligner
著者 (4件):
Wasa Kenji
(Tecdia Incorporated, Tokyo, Japan)
,
Saito Shigenori
(Aicello Corporation, Toyohashi, Japan)
,
Sahara Fumitaka
(Aicello Corporation, Toyohashi, Japan)
,
Sasaki Minoru
(Toyota Technological Institute, Nagoya, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
MEMS
ページ:
475-478
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)