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J-GLOBAL ID：201802291057870587 整理番号：18A0633888

スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価

著者 (5件)：

小林進大

(Nara Inst. of Sci. and Technol.)

武田さくら

(Nara Inst. of Sci. and Technol.)

米田允俊

(Nara Inst. of Sci. and Technol.)

大門寛

(Nara Inst. of Sci. and Technol.)

若林整

(Tokyo Inst. of Technol.)

資料名：

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻： 65th ページ： ROMBUNNO.20a-C103-8 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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