文献
J-GLOBAL ID:201802291811045399
整理番号:18A0253239
Multi-beam mask writer MBM-1000
著者 (4件):
MATSUMOTO Hiroshi
(NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN)
,
YAMASHITA Hiroshi
(NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN)
,
TAMURA Takao
(NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN)
,
OHTOSHI Kenji
(NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10446
ページ:
1044607.1-1044607.5
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)