前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201902212097445214
整理番号：19A0029057
PECVDと熱SiO_2の特性に関する成長堆積法の特徴【JST・京大機械翻訳】
Signature of growth deposition technique on the properties of PECVD and thermal SiO2
Majee Subimal
(CSIR-Central Electronics Engineering Research Institute (CEERI), Pilani 333031, Rajasthan, India)
,
Barshilia Devesh
(CSIR-Central Electronics Engineering Research Institute (CEERI), Pilani 333031, Rajasthan, India)
,
Kumar Sanjeev
(CSIR-Central Electronics Engineering Research Institute (CEERI), Pilani 333031, Rajasthan, India)
,
Mishra Prabhash
(Nano-Science Center, Jamia Millia Islamia, New Delhi, 110025, India)
,
Akhtar Jamil
(CSIR-Central Electronics Engineering Research Institute (CEERI), Pilani 333031, Rajasthan, India)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻： 1989 号： 1 ページ： 020023-020023-7 発行年： 2018年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。