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文献
J-GLOBAL ID：201902213036142404
整理番号：19A0900689
EUV金属酸化物ハイブリッドフォトレジスト:高分解能パターン形成のための超小型構造【JST・京大機械翻訳】
EUV metal oxide hybrid photoresists: ultra-small structures for high-resolution patterning
Xu Hong
(Cornell Univ. (United States))
,
Yang Kou
(Cornell Univ. (United States))
,
Sakai Kazunori
(Cornell Univ. (United States))
,
Kosma Vasiliki
(Cornell Univ. (United States))
,
Kasahara Kazuki
(Cornell Univ. (United States))
,
Giannelis Emmanuel P.
(Cornell Univ. (United States))
,
Ober Christopher K.
(Cornell Univ. (United States))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10583 ページ： 105831P-6 発行年： 2018年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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