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文献
J-GLOBAL ID：201902213149093227
整理番号：19A2658982
無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光X線光電子分光による表面分析,残留ガス分析,排気速度評価
Development of a New Nonevaporable Getter Coating Using Oxygen-Free Palladium/Titanium, Surface Analysis by Synchrotron Radiation X-ray Photoelectron Spectroscopy, Residual Gas Analysis, and Evaluation of Pumping Speeds
宮澤徹也
(総合研究大学院大学物質構造科学専攻)
,
栗原真志
(横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻)
,
大野真也
(横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻)
,
橋本綾子
(物質・材料研究機構)
,
橋本綾子
(筑波大学大学院数理物質科学研究科)
,
中山泰生
(東京理科大学理工学部先端化学科)
,
小澤健一
(東京工業大学理学院化学系)
,
菊地貴司
(高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所)
,
間瀬一彦
(総合研究大学院大学物質構造科学専攻)
,
間瀬一彦
(高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所)
資料名：
表面と真空
(Vacuum and Surface Science)
巻： 62 号： 9 ページ： 568-573(J-STAGE) 発行年： 2019年
JST資料番号： G0194B ISSN： 2433-5835 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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