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文献
J-GLOBAL ID：201902214497821236
整理番号：19A0660334
金属支援化学エッチングによる損傷のない平滑側壁InGaAs nanopillarアレイ【JST・京大機械翻訳】
Damage-Free Smooth-Sidewall InGaAs Nanopillar Array by Metal-Assisted Chemical Etching
Kong Lingyu
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Kong Lingyu
(NUS Graduate School for Integrative Sciences and Engineering, National University of Singapore, Singapore)
,
Kong Lingyu
(Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore)
,
Kong Lingyu
(Institute of Materials Research and Engineering, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore)
,
Song Yi
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Kim Jeong Dong
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Yu Lan
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Wasserman Daniel
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Chim Wai Kin
(Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore)
,
Chiam Sing Yang
(Institute of Materials Research and Engineering, A*STAR (Agency for Science, Technology and Research), Singapore)
,
Li Xiuling
(Department of Electrical and Computer Engineering, Micro and Nanotechnology Laboratory, Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign, Illinois, United States)
,
Li Xiuling
(International Institute for Carbon-Neutral Energy Research (I2CNER), Kyushu University, Japan)
資料名：
ACS Nano
(ACS Nano)
巻： 11 号： 10 ページ： 10193-10205 発行年： 2017年
JST資料番号： W2326A ISSN： 1936-0851 CODEN： ANCAC3 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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