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文献
J-GLOBAL ID：201902217286021658
整理番号：19A1414518
調整可能な位相を持つ連続高調波で駆動されるRF基板バイアスによる誘導放電における増強電力結合効率【JST・京大機械翻訳】
Enhanced power coupling efficiency in inductive discharges with RF substrate bias driven at consecutive harmonics with adjustable phase
Berger Birk
(Electrodynamics and Physical Electronics, Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg, 03046 Cottbus, Germany)
,
Steinberger Thomas
(Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA)
,
Schuengel Edmund
(Evatec AG, CH-9477 Truebbach, Switzerland)
,
Koepke Mark
(Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA)
,
Mussenbrock Thomas
(Electrodynamics and Physical Electronics, Brandenburg University of Technology Cottbus-Senftenberg, 03046 Cottbus, Germany)
,
Awakowicz Peter
(Institute for Electrical Engineering, Ruhr-University Bochum, 44801 Bochum, Germany)
,
Schulze Julian
(Department of Physics, West Virginia University, Morgantown, West Virginia 26506, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 111 号： 20 ページ： 201601-201601-5 発行年： 2017年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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