文献
J-GLOBAL ID:201902217959476143
整理番号:19A0030240
マイクロ構造を作製するための大面積イオンビームミリング工程のための大型RFバケットイオン源の開発【JST・京大機械翻訳】
Development of large RF bucket ion sources for large area ion beam milling processes to fabricate micro-structures
著者 (2件):
Tanaka Masanobu
(Innovation & Collaboration Center, Kumamoto University, 2-39-1, Kurokami, Chuo-ku, Kumamoto 860-8555, Japan)
,
Ookawa Hiroo
(Y.A.C. BEAM Co., Ltd. 1-1-1 Kokubu, Hitachi-Shi, Ibaraki 316-0035, Japan)
資料名:
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻:
2011
号:
1
ページ:
090025-090025-3
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0071C
ISSN:
0094-243X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)