文献
J-GLOBAL ID:201902219515403942
整理番号:19A1796901
Arのマイクロ波放電流におけるCH3CNの分解から形成された水素化アモルファスカーボンナイトライド膜の構造解析
Structural analysis of hydrogenated amorphous carbon nitride films formed from the decomposition of CH3CN in the microwave discharge flow of Ar
著者 (4件):
ITO Haruhiko
(Nagaoka Univ. Technol., Nagaoka, JPN)
,
SEKIZAKI Chitose
(Nagaoka Univ. Technol., Nagaoka, JPN)
,
FUKUHARA Sho
(Nagaoka Univ. Technol., Nagaoka, JPN)
,
SAITOH Hidetoshi
(Nagaoka Univ. Technol., Nagaoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
58
号:
SE
ページ:
SEED02.1-SEED02.6
発行年:
2019年06月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)