文献
J-GLOBAL ID:201902220670626746
整理番号:19A0912068
高精度慣性加速度計に適用したシリコン柔軟棒の強度解析【JST・京大機械翻訳】
Strength analysis of silicon flexible bar applied in high-precision inertial accelerometer
著者 (7件):
Cheng Jian
(Harbin Institute of Technology (China))
,
Wang Jinghe
(Harbin Institute of Technology (China))
,
Hou Jing
(Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China))
,
Qu Ping
(Harbin Institute of Technology (China))
,
Xie Hanxiao
(Harbin Institute of Technology (China))
,
Yang Sen
(Harbin Institute of Technology (China))
,
Peng Enhong
(Harbin Institute of Technology (China))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10838
ページ:
108380P-10
発行年:
2019年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)