文献
J-GLOBAL ID:201902221655079124
整理番号:19A1419109
プラズマジェットを用いた真空中の静的除去【JST・京大機械翻訳】
Static elimination in vacuum using plasma jet
著者 (1件):
Ikehata Takashi
(Institute of Quantum Beam Science, Ibaraki University, 4-12-1 Nakanarusawa, Hitachi, Ibaraki, 316-8511, Japan)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
166
ページ:
184-190
発行年:
2019年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)