文献
J-GLOBAL ID:201902222280497579
整理番号:19A0013807
SiO_2マイクロカンチレバーの共振周波数に及ぼすアニーリング誘起残留応力の影響【JST・京大機械翻訳】
Effect of annealing induced residual stress on the resonance frequency of SiO2 microcantilevers
著者 (3件):
Balasubramanian S.
(Surface and Nano science Division, MSG, IGCAR, HBNI, Kalpakkam - 603 102, India)
,
Prabakar K.
(Surface and Nano science Division, MSG, IGCAR, HBNI, Kalpakkam - 603 102, India)
,
Tripura Sundari S.
(Surface and Nano science Division, MSG, IGCAR, HBNI, Kalpakkam - 603 102, India)
資料名:
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻:
1951
号:
1
ページ:
030018-030018-3
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0071C
ISSN:
0094-243X
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)