文献
J-GLOBAL ID:201902223038765218
整理番号:19A2291162
局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス
A Device for Localized Measurement of Small Particles with Electrode-Integrated Small Pores
著者 (9件):
竹城雄大
(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
,
宇佐美尚人
(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
,
岡本有貴
(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
,
高田武晃
((株)アドバンテスト)
,
肥後昭男
(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター)
,
池野理門
(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター)
,
鷲津信栄
((株)アドバンテスト)
,
浅田邦博
(東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター)
,
三田吉郎
(東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
139
号:
8
ページ:
271-276(J-STAGE)
発行年:
2019年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)