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文献
J-GLOBAL ID：201902223892806914
整理番号：19A2696504
逆リフトオフプロセスのマイクロ加工特性に関する基礎研究【JST・京大機械翻訳】
Basic research on micro processing characteristics of reverse lift-off process
Nakagawa Yuki
(Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Yamada Kyohei
(Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Mizoshiri Mizue
(Nagaoka Univ. of Technology, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Oka Chiemi
(Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Sakurai Junpei
(Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Hata Seiichi
(Nagoya University, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya, 464-8603, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： MHS ページ： 1-4 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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