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文献
J-GLOBAL ID：201902228527323916
整理番号：19A2675965
3000°Cでタンタルフィラメントを用いたホットフィラメント化学蒸着による単結晶ダイヤモンド(100)膜の高速成長【JST・京大機械翻訳】
High-Rate Growth of Single-Crystalline Diamond (100) Films by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition with Tantalum Filaments at 3000 °C
Tabakoya Taira
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Kanada Shohei
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Wakui Yusuke
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Takamori Yue
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Yamada Tatsuki
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Nagai Masatsugu
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Kojima Yoshiyasu
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Kojima Yoshiyasu
(Technical Engineering Division, Arios Incorporated, Akishima, 196-0021, Japan)
,
Ariyada Osamu
(Arios Incorporated, Akishima, 196-0021, Japan)
,
Yamasaki Satoshi
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Yamasaki Satoshi
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, 305-8568, Japan)
,
Nebel Christoph E.
(Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics, Applied Solid State Physics IAF, Freiburg, 79108, Germany)
,
Matsumoto Tsubasa
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Inokuma Takao
(Graduate School of Natural Science and Technology, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Tokuda Norio
(Nanomaterials Research Institute, Kanazawa University, Kanazawa, 920-1192, Japan)
,
Tokuda Norio
(Advanced Power Electronics Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, 305-8568, Japan)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 216 号： 21 ページ： e1900244 発行年： 2019年
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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