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文献
J-GLOBAL ID：201902230389644383
整理番号：19A2598658
水素プラズマ処理導入によるダイヤモンド(111)MOS構造の界面準位密度低減とMOSFETのチャネル移動度向上
桜井海匡
(金沢大)
,
松本翼
(金沢大)
,
長井雅嗣
(金沢大)
,
加藤宙光
(産業技術総合研)
,
牧野俊晴
(産業技術総合研)
,
小倉政彦
(産業技術総合研)
,
竹内大輔
(産業技術総合研)
,
山崎聡
(金沢大)
,
山崎聡
(産業技術総合研)
,
猪熊孝夫
(金沢大)
,
NEBEL C. E.
(金沢大)
,
NEBEL C. E.
(Fraunhofer IAF)
,
徳田規夫
(金沢大)
,
徳田規夫
(産業技術総合研)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 80th ページ： ROMBUNNO.18p-PA4-22 発行年： 2019年09月04日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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