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文献
J-GLOBAL ID：201902230734473663
整理番号：19A2189080
高分解能皮膚センサを目指した反応性イオンエッチングを用いたβ-PVDF膜上のリソグラフィーマイクロパターン形成
Lithographic micropatterning on the β-PVDF film using reactive ion etching aim for high-resolution skin sensors
Miki Hirofumi
(Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
,
Sugii Ryota
(Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
,
Kawabata Yutoku
(Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
,
Tsuchitani Shigeki
(Department of Systems Engineering, Wakayama University, 930 Sakaedani, Wakayama, 640-8510, Japan)
資料名：
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
(IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 14 号： 10 ページ： 1575-1577 発行年： 2019年10月
JST資料番号： W1854A ISSN： 1931-4973 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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