前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201902230977528716
整理番号：19A0900725
EUVのためのロバストなPSCARプロセスの構築【JST・京大機械翻訳】
Constructing a robust PSCAR process for EUV
Carcasi Michael
(Tokyo Electron America, Inc. (United States))
,
Nagahara Seiji
(Tokyo Electron Ltd. (Japan))
,
Shiraishi Gosuke
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Minekawa Yukie
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Ide Hiroyuki
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Kondo Yoshihiro
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Yoshihara Kosuke
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Tomono Masaru
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Shimada Ryo
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Takeshita Kazuhiro
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Moriya Teruhiko
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Japan))
,
Kamei Yuya
(Tokyo Electron Kyushu Ltd. (Belgium))
,
Nafus Kathleen
(Tokyo Electron America, Inc. (Belgium))
,
Biesemans Serge
(Tokyo Electron Europe Ltd. (Belgium))
,
Nakashima Hideo
(Tokyo Electron Ltd. (Japan))
,
Hori Masafumi
(JSR Corp. (Japan))
,
Maruyama Ken
(JSR Corp. (Japan))
,
Nakagawa Hisashi
(JSR Corp. (Japan))
,
Nagai Tomoki
(JSR Corp. (Japan))
,
Dei Satoshi
(JSR Micro N.V. (Belgium))
,
Miyake Masayuki
(JSR Micro N.V. (Belgium))
,
Naruoka Takehiko
(JSR Micro N.V. (Belgium))
,
Shima Motoyuki
(JSR Corp. (Japan))
,
Vandenberghe Geert
(IMEC (Belgium))
,
De Simone Danilo
(IMEC (Belgium))
,
Foubert Philippe
(IMEC (Belgium))
,
Petersen John S.
(IMEC (Belgium))
,
Oshima Akihiro
(Osaka Univ. (Japan))
,
Tagawa Seiichi
(Osaka Univ. (Japan))
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10583 ページ： 105831M-14 発行年： 2018年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。