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文献
J-GLOBAL ID：201902231295106873
整理番号：19A0189469
LSI鋳造とナノテクノロジープラットフォームによるCMOS集積マイクロ電気化学機械システムのアジャイルスタイル開発【JST・京大機械翻訳】
Agile-Style Development of CMOS-Integrated Micro Electro Chemical Mechanical Systems by LSI Foundry and Nanotechnology Platform
Mita Yoshio
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Lebrasseur Eric
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Denoual Matthieu
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Yamada Kentaro
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Grand Julien
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Okamoto Yuki
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Reddy Rangareddygari Ranga
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Agnes Tixier-Mita
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Mintova Svetlana
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Higo Akio
(The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： ISESD ページ： 1-3 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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