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文献
J-GLOBAL ID：201902234855790221
整理番号：19A0124872
ScAlN膜の結晶方位とK_T_2に対するアーク融解及びホットプレス焼結ScAl合金ターゲットに及ぼす負イオン発生の影響【JST・京大機械翻訳】
The Influence of Negative Ions Generation on the Arc-Melted and Hot Press Sintered Scal Alloy Targets to the Crystalline Orientation and kt2 of the Scaln Films
Endo Yuka
(Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Karasawa Rei
(Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Takayanagi Shinji
(Nagoya Institute of Technology, Aichi, Japan)
,
Imakawa Makoto
(FURUYA METAL CO., Ltd., Tokyo, Japan)
,
Morisaka Keisuke
(FURUYA METAL CO., Ltd., Tokyo, Japan)
,
Suzuki Yu
(FURUYA METAL CO., Ltd., Tokyo, Japan)
,
Yanagitani Takahiko
(Waseda University, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： IUS ページ： 1-4 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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