前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201902235461736534
整理番号：19A1416646
TiN中間層におけるAlNのその場原子層ラメラドーピングによる二層金属ゲートの仕事関数の調整【JST・京大機械翻訳】
Tuning of the work function of bilayer metal gate by in-situ atomic layer lamellar doping of AlN in TiN interlayer
Huang Kuei-Wen
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
,
Cheng Po-Hsien
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
,
Lin Yu-Shu
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
,
Wang Chin-I
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
,
Lin Hsin-Chih
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
,
Chen Miin-Jang
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 122 号： 9 ページ： 095103-095103-5 発行年： 2017年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。