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文献
J-GLOBAL ID：201902236138234580
整理番号：19A0109276
水素-窒素イオンビーム入射による有機高分子エッチングにおける表面反応の数値シミュレーション研究
Numerical Simulation Study of Surface Reactions on the Organic Polymer Etching by Hydrogen-Nitrogen Ion Beam Injections
YAMASHIRO Masashi
(Nihon Univ.)
資料名：
日本大学生産工学部研究報告 A 理工系
(Journal of the College of Industrial Technology, Nihon University)
巻： 51 号： 2 ページ： 1-14 発行年： 2018年12月20日
JST資料番号： G0516A ISSN： 0385-4442 CODEN： NDAREH 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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