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文献
J-GLOBAL ID：201902237560377699
整理番号：19A0656870
次世代ナノリソグラフィーのためのブロック共重合体自己集合に基づくサブ3nm特徴サイズの作製【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of Sub-3 nm Feature Size Based on Block Copolymer Self-Assembly for Next-Generation Nanolithography
Kwak Jongheon
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Mishra Avnish Kumar
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Lee Jaeyong
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Lee Kyu Seong
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Choi Chungryong
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Maiti Sandip
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Kim Mooseong
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
,
Kim Jin Kon
(National Creative Research Initiative Center for Smart Block Copolymers, Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea)
資料名：
Macromolecules
(Macromolecules)
巻： 50 号： 17 ページ： 6813-6818 発行年： 2017年
JST資料番号： B0952A ISSN： 0024-9297 CODEN： MAMOBX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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