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文献
J-GLOBAL ID：201902237723929695
整理番号：19A1200186
触媒反応支援化学蒸着により作製したZnO薄膜の成長特性【JST・京大機械翻訳】
Growth characteristics of ZnO thin films produced via catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition
Saito Taro
(Department of Electrical, Electronics and Information Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Iba Ryuta
(Department of Electrical, Electronics and Information Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Ono Shotaro
(Department of Electrical, Electronics and Information Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Imada Go
(Department of Engineering, Niigata Institute of Technology, 1719 Hujihashi, Kashiwazaki, Niigata 945-1195, Japan)
,
Yasui Kanji
(Department of Electrical, Electronics and Information Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 37 号： 3 ページ： 030904-030904-3 発行年： 2019年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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