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文献
J-GLOBAL ID：201902239055201840
整理番号：19A1414056
大気圧周辺の最大感度を有する高温勾配ナノギャップ-ピラニ微小センサ【JST・京大機械翻訳】
High temperature gradient nanogap-Pirani micro-sensor with maximum sensitivity around atmospheric pressure
Ghouila-Houri C.
(University Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, University Valenciennes, UMR 8520 - IEMN/LIA LICS, F-59000 Lille, France)
,
Talbi A.
(University Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, University Valenciennes, UMR 8520 - IEMN/LIA LICS, F-59000 Lille, France)
,
Viard R.
(Fluiditech, Thurmelec, 68840 Pulversheim, France)
,
Moutaouekkil M.
(University Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, University Valenciennes, UMR 8520 - IEMN/LIA LICS, F-59000 Lille, France)
,
Elmazria O.
(Institut Jean Lamour, UMR 7198, Universite de Lorraine-CNRS, Vandoeuvre les Nancy, France)
,
Gallas Q.
(ONERA, Chemin de la Huniere 91123 Palaiseau, France)
,
Garnier E.
(ONERA, Chemin de la Huniere 91123 Palaiseau, France)
,
Merlen A.
(University Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, University Valenciennes, UMR 8520 - IEMN/LIA LICS, F-59000 Lille, France)
,
Pernod P.
(University Lille, CNRS, Centrale Lille, ISEN, University Valenciennes, UMR 8520 - IEMN/LIA LICS, F-59000 Lille, France)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 111 号： 11 ページ： 113502-113502-4 発行年： 2017年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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