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文献
J-GLOBAL ID：201902239270402298
整理番号：19A2157246
ミスト化学蒸着アルミニウムチタン酸化物膜の合成とキャラクタリゼーション
Synthesis and characterization of mist chemical vapor deposited aluminum titanium oxide films
YATABE Zenji
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
NISHIYAMA Koshi
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
TSUDA Takaaki
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
NISHIMURA Kazuki
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
NAKAMURA Yusui
(Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
,
NAKAMURA Yusui
(Kumamoto Phoenics, Kumamoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58 号： 7 ページ： 070905.1-070905.4 発行年： 2019年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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