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文献
J-GLOBAL ID：201902241738336668
整理番号：19A1414945
走査型非線形誘電顕微鏡を用いたリン注入単結晶シリコン太陽電池における活性ドーパント密度分布の定量的測定【JST・京大機械翻訳】
Quantitative measurement of active dopant density distribution in phosphorus-implanted monocrystalline silicon solar cell using scanning nonlinear dielectric microscopy
Hirose K.
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
,
Tanahashi K.
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima 963-0298, Japan)
,
Takato H.
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima 963-0298, Japan)
,
Cho Y.
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 111 号： 3 ページ： 032101-032101-4 発行年： 2017年
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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