文献
J-GLOBAL ID:201902242087420101
整理番号:19A0491641
Si上に被覆され(Ar-N2-H2)膨張プラズマに曝露されたTi膜におけるケイ化物と窒化物の形成【JST・京大機械翻訳】
Silicides and Nitrides Formation in Ti Films Coated on Si and Exposed to (Ar-N2-H2) Expanding Plasma
著者 (8件):
Jauberteau Isabelle
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, ENSCI, SPCTS, UMR7315, CEC, 12 rue Atlantis, F-87068 Limoges, France)
,
Mayet Richard
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, ENSCI, SPCTS, UMR7315, CEC, 12 rue Atlantis, F-87068 Limoges, France)
,
Cornette Julie
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, ENSCI, SPCTS, UMR7315, CEC, 12 rue Atlantis, F-87068 Limoges, France)
,
Mangin Denis
(Institut Jean Lamour, CNRS, Universite de Lorraine, UMR7198, Parc de Saurupt F-54011 Nancy, France)
,
Bessaudou Annie
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, XLIM, UMR6172, 123 av. A. Thomas, F-87060 Limoges, France)
,
Carles Pierre
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, ENSCI, SPCTS, UMR7315, CEC, 12 rue Atlantis, F-87068 Limoges, France)
,
Jauberteau Jean Louis
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, ENSCI, SPCTS, UMR7315, CEC, 12 rue Atlantis, F-87068 Limoges, France)
,
Passelergue Armand
(Faculte des Sciences et Techniques, Universite de Limoges, CNRS, XLIM, UMR6172, 123 av. A. Thomas, F-87060 Limoges, France)
資料名:
Coatings (Web)
(Coatings (Web))
巻:
7
号:
2
ページ:
23
発行年:
2017年
JST資料番号:
U7162A
ISSN:
2079-6412
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)