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文献
J-GLOBAL ID：201902243341474115
整理番号：19A2515852
MC-Siウエハ中のFe不純物の拡散と偏析に関するMoessbauer分光顕微鏡研究【JST・京大機械翻訳】
Mossbauer spectroscopic microscope study on diffusion and segregation of Fe impurities in mc-Si wafer
Yoshida Yutaka
(Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan)
,
Watanabe Tomio
(Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan)
,
Ino Yuji
(Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan)
,
Kobayashi Masashi
(Shizuoka Institute of Science and Technology, Fukuroi, Japan)
,
Takahashi Isao
(Graduate School of Engineering and School of Engineering, Nagoya University Furo-cho, Nagoya, Japan)
,
Usami Noritaka
(Graduate School of Engineering and School of Engineering, Nagoya University Furo-cho, Nagoya, Japan)
資料名：
Hyperfine Interactions
(Hyperfine Interactions)
巻： 240 号： 1 ページ： 1-8 発行年： 2019年
JST資料番号： H0639A ISSN： 0304-3843 CODEN： HYINDN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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