文献
J-GLOBAL ID:201902246914608393
整理番号:19A1415490
SU-8に基づくフォトレジストに使用されるスルホニウム光酸発生剤の多光子励起の秩序【JST・京大機械翻訳】
Order of multiphoton excitation of sulfonium photo-acid generators used in photoresists based on SU-8
著者 (5件):
Williams Henry E.
(Chemistry Department, University of Central Florida, Orlando, Florida 32816, USA)
,
Diaz Carlos
(Chemistry Department, University of Central Florida, Orlando, Florida 32816, USA)
,
Padilla Gabriel
(Chemistry Department, University of Central Florida, Orlando, Florida 32816, USA)
,
Hernandez Florencio E.
(Chemistry Department, University of Central Florida, Orlando, Florida 32816, USA)
,
Kuebler Stephen M.
(Chemistry Department, University of Central Florida, Orlando, Florida 32816, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
121
号:
22
ページ:
223104-223104-12
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)