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文献
J-GLOBAL ID：201902252059788301
整理番号：19A0330748
Si基板上に堆積したほぼ歪のないジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜の圧電特性【JST・京大機械翻訳】
Piezoelectric properties of a near strain-free lead zirconate titanate thin films deposited on a Si substrate
Ohno Tomoya
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Fukumitsu Kentaroh
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Honda Takamasa
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Sakamoto Akinori
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Tanaka Sadaaki
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Hirai Shigeto
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Matsuda Takeshi
(Department of Materials Science and Engineering, Kitami Institute of Technology, 165 Kouen-chi, Kitami, Hokkaido 090-8507, Japan)
,
Sakamoto Naonori
(Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1, Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, Japan)
,
Suzuki Hisao
(Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1, Johoku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8561, Japan)
資料名：
Materials Letters
(Materials Letters)
巻： 239 ページ： 71-74 発行年： 2019年
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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