文献
J-GLOBAL ID:201902253176159901
整理番号:19A1489747
大規模超高速in situ特性化による先進FinFETノードにおけるSRAMアレイデバイスへの直接洞察【JST・京大機械翻訳】
Direct insight to SRAM array devices in advanced FinFET nodes by large scale ultra-fast in-situ characterization
著者 (11件):
Song Yuncheng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Mann Randy
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Xie Sheng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Teague Sheridan Lucile C.
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Versaggi Joseph
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Sun Dapeng
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Oh Chong Khiam
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY, 12020, USA)
,
Fimmel Dirk
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
,
Marienfeld Daniel
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
,
Hoffmann Matthias
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
,
Finger Wolfgang
(GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, 01109, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2019
号:
IMW
ページ:
1-4
発行年:
2019年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)