文献
J-GLOBAL ID:201902254027347014
整理番号:19A2696535
薄膜金属ガラスを用いた小型容量圧力センサの作製【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of Miniaturized Capacitive Pressure Sensor using Thin Film Metallic Glass
著者 (4件):
Uejima S.
(Furo-cho, Chikusa, Nagoya university, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Oka C.
(Furo-cho, Chikusa, Nagoya university, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Hata S.
(Furo-cho, Chikusa, Nagoya university, Nagoya, 464-8603, Japan)
,
Sakurai J.
(Furo-cho, Chikusa, Nagoya university, Nagoya, 464-8603, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
MHS
ページ:
1-5
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)