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文献
J-GLOBAL ID：201902256048366953
整理番号：19A1796904
フィルターアーク蒸着を使用して調製された極薄多層膜からなる耐摩耗性かつ導電性の窒素含有DLCフィルム
Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition
HARIGAI Toru
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TAMEKUNI Koki
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
IIJIMA Yushi
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
DEGAI Satoshi
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TANIMOTO Tsuyoshi
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
SUDA Yoshiyuki
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TAKIKAWA Hirofumi
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
TAKAGO Shigeki
(Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN)
,
YASUI Haruyuki
(Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN)
,
KANEKO Satoru
(Kanagawa Inst. of Industrial Sci. and Technol., Kanagawa, JPN)
,
KUNITSUGU Shinsuke
(Industrial Technol. Center of Okayama Prefecture, Okayama, JPN)
,
HABUCHI Hitoe
(Gifu Coll., Gifu, JPN)
,
KAMIYA Masao
(Itoh Optical Industrial Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
TAKI Makoto
(Onward Ceramic Coating Co., Ltd., Ishikawa, JPN)
,
GONDA Hidenobu
(OSG Coating Serv. Co., Ltd., Aichi, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58 号： SE ページ： SEED05.1-SEED05.5 発行年： 2019年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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